能量色散X光螢光光譜儀使用X光照射樣品，測量所產生的X光螢光的能量（波長）和強度，以確定樣品中元素組成的種類和含量。由於X光螢光光譜法能以非破壞性分析固體、粉末、液體樣品，也可快速且不具破壞性的測試印刷電路板和其他電子設備中有害元素，因而被廣泛用於全球的電子電氣和汽車製造企業，應用於符合歐盟RoHS/ ELV指令的檢查和品質控制。
EDX-7000/8000/8100
4種準直器以及樣品觀察裝置，自動切換5種一次濾光片，準直器和一次濾光片能自由組合。高靈敏度(提高檢測下限1.5～5倍)、高速(分析速度最大可提高10倍)、高分辨率，無需液態氮。選配真空與氦氣充填系統，可有效提升輕元素感度。EDX-8000/8100可進行超輕元素分析。
EDX-LE
具備自動選擇檢量線、自動縮短測量時間等篩選器所需簡單操作的軟體及採用大型樣品室的硬體等最適合篩選器分析的功能、性能。還可使用篩選分析法做為測試條件，並可定義分析主要元素。具備最適合RoHS/ELV及鹵素篩選功能的軟體，通遛安裝無需液氮冷卻的檢測器，將裝置維護控制到最小。通過與功能追加工作曲線（選配件）相組合，使用普通分析軟體的定性分析、膜厚分析、鋼種判別等也可用於篩選以外的其他用途。
