使用高頻感應耦合電漿作為光源，非常適用於溶液樣品的分析。由於近些年樣品分析數量和元素分析種類的增加，ICP以其速度和精準度受到了高度關注。在JIS、ISO標準和日本水供應法中，以ICP作為標準分析法被廣泛採用。該儀器可以同時測定微量元素和高含量元素，既可以用於研發，亦可用於產品控制的自動分析和環境領域水質監測。